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简谈快速太阳网集团8722的建模

编辑:太阳网集团8722时间:2021-11-23

  快速太阳网集团8722是半导体制造过程中的重要设备,主要用于半导体生产工艺,如晶圆退火、氧化、化学沉积等,与传统的热力设备相比,它具有加热速度快、工作温度范围大、温度控制精度高、热场分布均匀等显著特点,这对系统的温度控制提出了很高的要求,显然,传统的局部放电控制已不能满足系统温度控制的要求,为了获得越佳的控制成果,研究人员在这方面做了大量的研究工作,提出了许多良好的控制方法,如解耦分散控制、学习控制、自适应控制和模型预测控制。

  针对基于这些控制方法开发的太阳网集团8722的结构特点,一些学者提出了基于系统模型的前馈与反馈相结合的控制方法,前馈控制器用于预测系统的电流控制输出,提高系统的响应速度;反馈控制器用于补偿系统模型误差和外部干扰,并在线修改系统模型,从而提高系统的控制精度和鲁棒性,通过实验验证了温度控制方法的有益性。

  退火炉的系统结构和模型建立如下:

  根据结构不同,快速退火炉采用单面灯管加热、双面灯管加热、灯管平行分布、灯泡同心分布。太阳网集团8722由以下部件组成:金属腔、石英腔、加热灯、高温计等,其中加热灯管分为上下两层,正交对称分布,属于双面加热方式,上下灯分为十组,每组可单独调节,以保证系统的热场分布可调节,金属腔内壁由高反射材料制成,提高了系统的加热效率,腔体由冷却气体冷却,使系统在整个加热过程中保持相对稳定,高温计用于测量硅片的实时温度,获得硅片的实际温度作为温控系统的反馈信号。

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